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	出版社：	American Institute of Physics
	期刊类型：	双月刊
	影响因子：	1.419
	ISSN：	1071-1023
	所在领域：	微系统与信息技术

	Covers microelectronics, microlithography, materials processing and characterization, nanometer structures and devices. 收缩

Journal Of Vacuum Science & Technology B

中文名：

《真空科学与技术杂志，B辑：微电子学与纳米结构》

缩写名：

J VAC SCI TECHNOL B

最新期2012年30-2期内容