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SrHfO(3) Films Grown on Si(100) by Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition
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作者 |
Black, K; Werner, M; Rowlands-Jones, R; Chalker, PR; Rosseinsky, MJ |
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选自 |
期刊 CHEMISTRY OF MATERIALS; 卷期 2011年23-10; 页码 2518-2520 |
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关联知识点 |
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[摘要]： |
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